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電子探針ElectronProbeMicroanalyzer(EPMA)
 

  儀器型號:日本島津公司生產的EPMA-1600

  性能參數:

  1、具有較高的X-射線檢出角(52.5),分光晶體采用Johanson型全聚焦分光晶體。

  2、分析精度:好于1%(主要元素,含量>5%)和5%(次要元素,含量~1%);譜儀檢測極限:大于10ppm。

  3、分析元素范圍:4Be-92U;加速電壓:0.2-30kV(可調步長≤0.5kV);二次電子像分辨率:6nm;放大倍數:50-300000,連續可調(有效圖像觀察倍數≤50000)。

  4、電子束流穩定性:好于1.510-3/h;電子束流:10-12–10-5A,連續可調,絕對準確值好于10%。

  5、可觀察二次電子像(SEI)、背散射電子像(BEI)、凸凹像、透射電子像、吸收電子像、光學顯微像、特征X射線線/面分布像等。

  6、配置四道波譜儀(LiF/ADP、LiF/PET、RAP/LSA70、PbST/LSA200)和EDAX公司Genesis能譜儀。

  應用范圍:適用于巖石探針片、礦物材料、冶金、陶瓷、半導體等材料領域的微區化學組成定性和定量分析、微區化學組成線分析、微區化學組成面分析以及各類固體產品的微區形貌觀察與成分分布圖像等,是對試樣表面形貌觀察、微區組織結構和元素定性定量分析的最有效、原位(in-situ)表征手段。


                             編輯: 天津地質調查中心   發布時間: 2014-01-15
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